據(jù)南方財(cái)富網(wǎng)概念查詢(xún)工具數(shù)據(jù)顯示，集成電路裝備概念股票有：

晶盛機(jī)電：

近5個(gè)交易日，晶盛機(jī)電期間整體上漲1.1%，最高價(jià)為42.43元，最低價(jià)為39.72元，總市值上漲了5.89億。

普利特：

上海市青浦區(qū)趙巷鎮(zhèn)滬青平公路2855弄1號(hào)12樓。

近5個(gè)交易日股價(jià)上漲4.09%，最高價(jià)為13.7元，總市值上漲了6.23億。

炬光科技：

在近5個(gè)交易日中，炬光科技有3天上漲，期間整體上漲7.07%。和5個(gè)交易日前相比，炬光科技的市值上漲了10.36億元，上漲了7.07%。

至純科技：

國(guó)內(nèi)能提供到28納米節(jié)點(diǎn)全部濕法工藝的本土供應(yīng)商；公司目前80%的業(yè)務(wù)服務(wù)于集成電路領(lǐng)域，主營(yíng)業(yè)務(wù)主要包括半導(dǎo)體制程設(shè)備、系統(tǒng)集成及支持設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)銷(xiāo)售，以及由此衍生的部件材料及專(zhuān)業(yè)服務(wù)；公司為半導(dǎo)體及相關(guān)高科技新興產(chǎn)業(yè)客戶(hù)提供濕法工藝整體解決方案。

近5個(gè)交易日股價(jià)上漲7.34%，最高價(jià)為34.68元，總市值上漲了9.67億。

中微公司：

在近5個(gè)交易日中，中微公司有5天上漲，期間整體上漲9.93%。和5個(gè)交易日前相比，中微公司的市值上漲了184.46億元，上漲了9.93%。

華海清科：

在近5個(gè)交易日中，華海清科有4天上漲，期間整體上漲5.02%。和5個(gè)交易日前相比，華海清科的市值上漲了26.68億元，上漲了5.02%。

本文選取數(shù)據(jù)僅作為參考，并不能全面、準(zhǔn)確地反映任何一家企業(yè)的未來(lái)，并不構(gòu)成投資建議，據(jù)此操作，風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān)。